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微小型泵及其制造测试技术

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　1、项目简介
　　本项目由国家自然科学重点基金和教育基金资助，是国内首开的微小型泵及其制造测试技术研究课题。
　　2、技术指标
　　本微小型泵采取硅微热致动原理。硅微热致动泵为两片对称结构及比面驱动的创新设计，生产工艺简单，工作效率高，输入电压低，输出流量大；驱动薄膜3mm×3mm；在电压为16V时，最大输出流量为43μL/min；改进后最大输出流量可达19...
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