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CVD金刚石膜的高效生长技术与设备可行性报告

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　一、项目简介
　　化学气相沉积（CVD）金刚石膜材料具有优异的机械、化学、光学和热学等性能，具有和天然金刚石相近的高硬度、低摩擦系数、高热导率以及优异的透微波、透红外性能。因此，金刚石膜同样可作为理想的刀（工）具材料、机械耐磨材料、化学耐蚀材料、热沉材料、红外窗口材料等。这种新材料的制备及应用研究已经受到了欧、美、日等发达国家的高度重视，我国也将其列入国家“863”计划，支持其基础...
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