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一种非制冷红外探测器隔热衬底制作方法

2007年 应用技术
  • 成果简介
本发明涉及一种非制冷红外探测器隔热衬底制作方法，属于微机电系统领域。采用阳极氧化法制作多孔硅，然后在多孔硅上淀积一层过渡层氮化硅薄膜，制作成非制冷红外探测器隔热衬底，尔后的器件制作就在这一层氮化硅薄膜上进行。由于在多孔硅与红外材料之间插入了一种中间过渡层，改善了由于多孔硅造成的表面不平将可以大幅度提高红外材料的晶体质量，从而提高器件的性能。...
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