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硅基级联式MEMS移相器

2007年 应用技术
  • 成果简介
一种硅基级联式MEMS移相器，属微电子机械和微波通讯器件技术领域。背景技术的级联式MEMS移相器，插入损耗低，移相范围大，下拉电压较高。本实用新型的硅基级联式MEMS移相器，不仅插入损耗小、移相范围大，而且下拉电压低。本实用新型的技术方案是在已有的硅基级联式MEMS移相器上，部分加宽金属弹性桥4的桥面宽度和选用合适的金属弹性桥4的构成材料。本实用新型的硅基级联式MEMS移相器还有寿命长，易...
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