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多功能等离子体系统及相关零部件

2007年 应用技术
  • 成果简介
真空等离子体装备既很好地结合传统产业，又融入了纳米科技方面的高新技术，集机械、电子、电工和自动化控制等技术为一体，产品有很高的附加值，且有巨大的市场需求。华东师范大学与上海纳晶科技有限公司进行“产学研”结合，研究开发了高性能等离子体装备所用的核心技术、关键零部件、模块及整机系统，并正在进行中试生产，产品供不应求。在对各种薄膜材料的制备工艺和性能进行系统研究的基础上，开发成功具有多种功能的、...
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