首页成果登记
注册 找回密码
国家科技成果网
  		•
热门搜索：  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

登记 排行 政策 对接 转化 专栏
国家科技成果网 › 首页 ›成果 › 查看内容

超净高纯双氧水生产技术与装置

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　该项目开发的技术可广泛应用于微电子化工材料分离与纯化，尤其是超大规模集成电路（0.09～0.2μm技术）用超纯电子化学品。超净高纯双氧水作为电子工业硅片清洗剂、印刷电路板的刻蚀剂，是电子工业不可缺少的精细化学品。目前，国内集成电路生产的电子级双氧水无论质量和数量都不能满足电子工业的需要，主要依赖进口。该项目实验室成果2003年12月22日已通过上海市科学技术委员会鉴定（科学技术成果登记号：93...
相关成果

标签云

相关机构

关于国科网   我们的资源   我们的服务   免责声明   常见问题    软件下载    成果登记   联系我们  
Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位：科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统