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共焦扫描检测材料面形的方法

2004年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一种共焦扫描检测材料面形的方法，采用共焦扫描系统首先测量被测样品在纵向Z方向上的响应曲线q，对响应曲线q进行归一化处理，求得响应曲线q线性段ab的斜率S；然后在响应曲线q线性段ab内测量被测样品表面任意点的光强I'，并将其按该点纵向上扫描得到的最大光强I最大值进行归一化为I。再测得被测样品表面起伏的纵向深度微量h，重构出被测样品的表面形貌。本发明的方法可获得纳米级的纵向变率。适用于各种固态...
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