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工模具表面PCVD陶瓷化工业设备及成套技术

2007年

应用技术

成果简介

该项目是西安交通大学金属材料强度国家重点实验室完成的国家“863”计划新材料领域项目。在国内首次研制出大功率脉冲直流等离子体辅助化学气相沉积（PCVD）工模具表面强化工业样机，设备有效容积450～650mm，承载能力500KG，基本满足一般中小型工业模具处理的需要。开发出通用的脉冲直流POVD工模具表面薄膜（如TiN，TiC，TiSiN等）强化工艺技术，处理温度可控制在550℃左右，沉积速...

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