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微脉冲电源及表面处理专用设备

2007年

应用技术

成果简介

　　一、成果内容简介：
　　一种能提供高频、高压、高功率的脉冲电源，以提供电能脉冲特别短为特点，主要用于产生辉光离子源。由于其电流为高速微秒级的脉冲，能很好地抑制弧光放电和空心阴极效应，在离子渗氮、PCVD、TiN、TiC、TiCN等方面具有很好的效果，特别适用于刀、模具的表面处理。
　　二、应用范围：
　　1．等离子体化学处理的各种工艺研究。
　...

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