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准外差激光数字散斑干涉自动测量系统

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　该系统将准外差及图像技术应用于散斑干涉计量中，显著地提高了数字散斑干涉计量技术的测量精度、可靠性、实用性及自动化程度，实现了粗糙物体表面参数的高精度自动测量，系统相位测量误差小于20度(0.02μm)，主要功能和技术指标处于国内领先水平，可用于受力分析、无损检测、动态分析、外形轮廓测量、表面质量检测等。...
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