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金刚石薄膜涂层轴承支撑器的制备方法

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　本发明涉及一种机械制造领域的金刚石薄膜涂层轴承支撑器的制备方法，采用基体表面去钴和粗化、脱碳和还原处理、反应气体中添加粘结促进剂预处理，通过控制CVD 涂层工艺参数，金刚石沉积在硬质合金衬底上以提高成核密度为主；在金刚石生长中间阶段，以生长<111>、<100>晶粒取向的涂层质量好、附着力强的金刚石多晶膜为主；金刚石沉积后期，通过降低反应气体压力、增加碳源浓度、在反应系统中通入氮气，在金刚石多...
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