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纳米薄膜微结构传感器阵列技术研究

2007年

应用技术

成果简介

　　氧化氮（NO_x）气体是大气中对环境和人类健康危害十分严重的污染物。在我国，NO_x的主要产生源——汽车每年以20%的速度增长，因此，及时准确地获知环境中和有关污染源的NO_x气体浓度，对环境监测和环境保护意义重大。而传统传感器由于体积大，工作温度较为局限，功能较为单一，使其工作能力受到限制。同时随着微型化、集成化和智能化系统的发展要求，研制简便、实用、成本低的微结构NOx气体传感器阵列的需求...

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