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直接加热终端式微电子机械系统微波功率传感器及其制备方法

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　本发明是一种利用终端负载的形式实现功率吸收并转化为热量，以测量热电势的方式测得输入功率的结构，属于微电子机械系统（MEMS）制造的技术领域。
　　在微波技术研究中，微波功率是微波信号特征的一个重要参数。在微波信号的产生、传输及接收等各个环节的研究中，微波功率测量是必不可少的，它已成为电磁测量的重要组成部分。在该领域国内外都有大量研究，但用MEMS（微电子机械系统技术）研制的微结构微...
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