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离子增强沉积技术

2007年

应用技术

成果简介

　　一、产品和技术简介：
　　离子增强沉积技术，包括由金属和气体离子源，及电子束蒸发、磁控溅射和磁过滤真空弧相结合的离子镀设备，用以沉积YiN，TiC，DLC等复合超硬膜和氧化物、氢化物等功能膜系。在机械工业、电子工业中有广泛应用背景。如高精度工模具镀膜和PDP等离子体显示器保护膜等。
　　本项目通过863高技术和教育部联合技术鉴定，达到国际先进水平。已制造设备数台。

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