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纳米级、微型化电容测微仪介绍

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　成果与项目的背景及主要用途：电容测微仪以其非接触式测量方式和高精度、高分辨力等优点，近三十年在精密测试领域得到了迅速发展，但是电容测微仪随时间和温度漂移的问题一直没有得到很好的解决，而且一般的电容测微仪电路体积大，集成度很低，一般一台测微仪仅支持两路传感测头，当测量密度大时传统的电容测微仪使用极不方便。本微型电容测微仪有效解决了这两个问题，是一种低漂移，高精度，微型化的电容测微仪。这将使电容测...
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