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液体驱动式超微小位移控制装置及控制方法

2007年 应用技术
  • 成果简介
申请（专利）号：200510101701.5。
公开日：2006.06.21。
专利权人：广东工业大学。
申请日：2005.11.25。
发明（设计）人：傅惠南；王晓红；区仲荣；陈东升。
摘要：本发明公开了一种液体驱动式超微小位移控制装置及控制方法，该装置由弹性微位移机构与液体驱动控制机构通...
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