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一种化学机械法金刚石膜抛光装置

2007年 应用技术
  • 成果简介
申请（专利）号：200520056771.9；
公开日：2006.10.04；
专利权人：广东工业大学；
申请日：2005.04.11；
发明（设计）人：王成勇；陈冲；秦哲；张凤林。
摘要：本实用新型公开了一种化学机械法金刚石膜抛光装置，该装置包括电机（2）、传动组件（1）、相互配合并可以连...
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