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射频硅基开关线型MEMS移相器的研究

2007年

应用技术

成果简介

　　移相器大量应用于相控阵系统中，是相控阵雷达、卫星通信及微波测量系统中的关键元件之一。本项目研究一种新型的结合MEMS技术制备的低损耗开关线型移相器，该器件通过在传输线上加载高性能接触式MEMS开关实现不同电长度传输通道的选择，从而得到不同的相移量。项目研究并实现硅基上的低损耗、低驱动、高相移精度的开关线型MEMS移相器的关键部件——MEMS开关，要求实现较佳的隔离度、驱动电压值和机械振动寿命的...

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