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塑料生物芯片的激光键合技术

2007年 应用技术
  • 成果简介
提出了一种塑料生物芯片的键合和封装方法和装置，采用这种方法，可以实现芯片的非接触、低温和低污染高速局部加热键合封装。以连续或脉冲近红外激光光源作为辐照能量源，需键合或封装在一起的部件为热塑性塑料部件，其中至少有一个部件对激光波长透明，若两种部件都对激光波长透明，则需在两部件键合的部位涂敷或填充一层吸收薄膜。为实现高精度高效率的键合，塑料生物芯片最好带有特定的对准标记，而与之键合的封盖也带有...
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