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高介电系数硅基钛酸锶钡铁电多层膜的研究

2007年

应用技术

成果简介

利用多靶脉冲激光沉积技术在Pt/Ti/SiO_2/Si基片上制备了多晶BaTiO_3/SrTiO_3多层膜，并研究了其介电等性质。创造性地利用氧分压调节多层膜界面层的氧空位浓度，得到明显的介电系数增强。在10kHz下，多层膜介电系数是相应均匀薄膜和同质多层膜的2倍，达1200，损耗小于0.1。基于类似的空间电荷效应机理，本项目在硅基CaCu_3Ti_4O_12薄膜和特殊条件下制备的Ba_0...

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