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准气体动力循环超高能量密度Power MEMS的研究

2007年 应用技术
  • 成果简介
项目研究提出了超高能量密度Power MEMS准气体动力循环的创新理论观点,突破了Power MEMS研究领域现有的技术思想和路线的束缚,奠定了实现中介尺度Power MEMS超高能量密度的重要理论基础;提出了Power MEMS准循环发动机的发明,其输出循环净功将得到大幅提高,系统构成得到进一步简化;在此基础上,提出了Power MEMS碳化硅材料微细加工工艺研究,为准气体动力循环超高能...
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