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MEMS设计关键技术及器件

2007年

应用技术

成果简介

　　在教育部科学技术研究重点项目资助下，以硅微真空微电子加速度传感器为具体研究对象，充分利用现有的MEMS器件模拟工具如ANSYS等，开发尚不完善的真空微电子加速度传感器的器件模型、模拟及相关算法，提取MEMS场发射加速度传感器的器件特征，为版图设计中器件库的建立提供支撑。...

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