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二维硅微加速度计设计技术研究

2007年 应用技术
  • 成果简介
二维微型加速度传感器是一维微型加速度传感器的新发展，是一种十分重要的惯性测量元件。本课题利用微电子技术、MEMS技术、传感器技术等，研究二维硅微加速度计的相关基础理论及关键共性技术。以宏观理论为基础，研究微小尺度下二维硅微加速度计系统的力学特性、气体阻尼特性、交叉耦合等基础理论，建立相应的理论模型和计算机仿真模型，进行系统结构优化设计和工艺优化设计。与此同时，开展实验研究，进行工艺探索和样...
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