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微机械光子探测技术研究、电磁微机械继电器的研制

2007年 应用技术
  • 成果简介
运用半导体物理和微机械与微光学原理，研究了基于光－机械量子效应的光子探测技术：对半导体悬臂梁理论进行了分析，探索了高灵敏度光子探测的实现方法，并将该技术应用于非可见光（红外或紫外）探测。提出了一种新型双稳态电磁微机械继电器的设计，对电磁微机械继电器的驱动和双稳态的实现进行了分析，综合运用现有的微机械加工技术，实现了双稳态电磁微机械继电器样品的制备。...
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