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浮法玻璃硅系纳米复合薄膜制备技术及设备

2007年 应用技术
  • 成果简介
  该项技术是公司和浙江大学合作研制的技术,它根据浮法玻璃的生产工艺和特点,成功地开发了具有自主知识产权的浮法在线大面积沉积镀膜技术及设备。该技术以SiH_4 、C_2H_4、 N_2、 H_2等气体为原料,借助安装在锡槽内的反应器,通过控制沉积温度、SiH_4 气体浓度、混合气体流量、沉积时间等工艺参数,在浮法玻璃基板上大面积沉积纳米硅/碳化硅复合薄膜,经在线质量检测,生产在线镀膜玻璃,该技术具...
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