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矽化石墨材料

2007年 应用技术
  • 成果简介
  碳化矽涂层材料属于碳化矽在石墨基体上的涂层,是在高温条件下矽与碳的直接结合,所以该涂层有很高的结合强度,耐高温、抗氧化。目前应用:碳化矽涂层坩埚、隔热挡板、测温用热电偶保双管。
  矽化石墨材料是碳化矽涂层的基础上,进行化学气象沉积处理,所得到的碳化矽表面层光亮、无孔、纯度高、耐高温、抗氧化。目前主要应用:矽外延用基座。...
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