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大粒径、高均匀性纳米二氧化硅溶胶的制备

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　中国科学院上海应用物理研究所硅溶胶部门长期从事硅溶胶的研发、生产和销售。最近成功开发了一种制备大粒径、高均匀颗粒分布的纳米二氧化硅溶胶的新方法。制备的二氧化硅颗粒在40～60nm，80～100nm之内均匀分布，浓度可达20%～50%以上。投资少，设备简单，按照月产(30个工作日计)100吨的生产量，总设备投资不到100万。生产的产品一次性达到高均匀性，纯度极高，可用于半导体行业的粗抛光及精抛光...
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