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新型软包装材料的开发

2007年

应用技术

成果简介

　　我院所研制的SiO_x膜是Si_2O_3和Si_3O_4的混合物，与塑料膜粘合牢，耐蒸煮性、抗弯性、耐消毒性极佳，且适宜用于微波加工。用等离子体辅助电子束蒸发沉积（PECVD）SiO_x作为阻隔层，利用等离子体高密度，高能量，反应活性强，特别是把PECVD和电子束（EB）蒸发相结合沉积SiO_x薄膜，则产生具有如下优点的薄膜：
　　(1)对O_2、水蒸气、油脂等阻隔性优；

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