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厚膜集成压力传感器

2007年 应用技术
  • 成果简介
厚膜集成压力传感器是国家“八五”重点科技攻关项目。该项目利用厚膜混合集成技术和厚膜力敏传感器技术工艺相容性好，易匹配的特点，在国内外率先成功地采用全厚膜化工艺。将厚膜力敏与补偿、电源电压力传感器。工作温度-40至125℃；量程0～2Mpa；输出1～5v，精度0.2%。
优点：1、传感器与补偿、信号放大处理电路集成一体，性能优良；2、可直接和显示图表相连接，使用方便；3...
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