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准分子激光器

2007年

应用技术

成果简介

最大重复频率50HZ，光束发散角＜4.5×1.5mrad（v×h）
参数（测试条件） 1193 1248 1308 单位
激光介质/波长 ArF/193 KrF/248 XeCI/308 nm
最大稳定脉冲能量（1hz） 180 ...

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