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实时纳米分辨率干涉测量

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　该研究开发一种新型的实时干涉测量技术，抗干扰纳米分辨率干涉实时测量微小物体的微小静止位移和随时间缓慢或迅速变化的位移，测量周期振动物体的振动振幅和振动频率，测量物体运动的速度与加速度，以满足国内信息技术与MEMS等领域微小物体运动状态测量的迫切要求。
　　研究进展：本年度完成了实时干涉测量仪反馈控制系统的设计、制作与调试工作，实现了抗干扰测量；完成了微小光纤探头的研制工作；完成了干...
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