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大直径SOI材料国产化装备及相关工艺研究

2007年

应用技术

成果简介

SOI(Silicon on Insulator)材料是一种具有耐高温、低功耗、抗辐射、高集成度等独特优势，能突破硅材料与硅基集成电路限制的新型硅基集成电路材料，被国际上公认为21世纪的新型微电子材料。但是在SOI材料的制备中，相关国产化装备和技术是国内急待解决的关键问题。
根据SIMOX/SOI技术的要求，我们分析了SIMOX技术相关的关键装备—强流氧离子注入机等国产...

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