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高性能InP基、GaAs基谐振腔增强型长波长光探测器

2007年

应用技术

成果简介

谐振腔增强型（RCE）光探测器具有高速、高量子效率和波长选择等性能，是高速光通信系统和全光网络中的关键器件。本课题取得了如下成果：
1、发明了InP－空气隙DBR的独特制备工艺方法，成功解决了InP基RCE光探测器中的DBR关键问题，首次实现了InP－空气隙DBR结构的RCE光探测器。
2、在国际上首次提出并尝试成功了基于特殊图案透明欧姆接触微结构的...

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