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SiGe/Si单片集成高速OEIC光接收芯片的研究

2007年

应用技术

成果简介

研究了SiGe/Si高速OEIC光接收芯片中的关键器件SiGe/Si HBT和光电探测器，并研制出光接收机模块。主要的研究成果包括：
（1）在SiGe/Si HBT材料生长研究中，采用变温与限制生长相结合的方法，实现了异质结界面与PN结界面的精确控制；研究了B对SiGe/Si材料的应变补偿作用，得到了B的收缩因子为?B=6.23?10-24cm3/atom，相对于Ge的...

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