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硅基高速光波导开关及其集成技术

2007年

应用技术

成果简介

光开关是全光联网的关键器件。SOI光开关具有开关响应速度快、可靠性高、制备工艺和CMOS标准工艺完全兼容等优势，因此具有极大的发展潜力和应用价值。
在Matlab平台上开发了一套具有自主知识产权的光波导器件CAD设计工具BPM_SEMI，在计算效率、Pade高阶近似、稳定性、差分格式、边界条件等方面性能比现有光波导设计商业CAD软件先进。
设计制备了...

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