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实时原位双光子MEMS三维加工新技术

2007年 应用技术
  • 成果简介
完成了一套实时原位的三维双光子的加工系统，探索出一套实时原位的三维双光子的加工实验材料的加工工艺。实现了二到三种功能器件的加工和开发及其三维图形的制备。正在申请二个发明专利，发表文章6篇，仪器已用于开放和合作研究。实现了实时的加工监测技术，实现了导电功能材料的双光子加工。发现了新的功能材料和新的加工机理，并用于三维的高密度数据存储。开发了新的加工软件。研制了飞秒的激光、开发了共焦激光显微镜...
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