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新型MEMS传感器阵列及其应用研究

2007年 应用技术
  • 成果简介
本课题推导了单层锆钛酸铅悬臂梁伸缩振动时振幅的表达式，得出振幅与电势差ΔV成正比，与长厚比L/d成正比，与宽度w无关。分类分析了锆钛酸铅悬臂梁弯曲振动的各种模式，通过有限元分析软件ANSYS仿真得出：在相同几何尺寸，相同电压的情况下，“异P同E”的振幅是“异E同P”的振幅的一半；两者的振幅与电势差ΔV成正比，与长厚比(L/d)成平方关系，与宽度w无关。对于“同P同E”得出上下两层锆钛酸铅的...
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