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基于计算机视觉和显微干涉的MEMS动态测试系统

2007年

应用技术

成果简介

通过对MEMS动态测试的理论与技术问题进行研究，在若干关键技术方面取得了突破，开发出MEMS运动测试系统。该测试系统由2个测量子系统组成，第一是基于计算机视觉的测量子系统，可实现MEMS平面结构的几何量参数（长度、角度、形状误差等）、平面内周期运动参数（位移、旋转角度、速度、频率等）的全视场检测；第二是基于显微干涉的测量子系统，可实现 MEMS结构的三维几何量参数（形貌、表面粗糙度等）、...

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