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准分子激光电化学微制造生产线关键技术

2007年 应用技术
  • 成果简介
针对MEMS技术对微结构的特征尺寸的要求越来越小、深宽比的要求越来越高、表面质量要求越来越高的实际，本项目将准分子激光加工工艺和传统的电化学加工工艺相结合，在大量实验的基础上，对工艺参数进行了分析，并在N 型<100>Si材料上加工出特征尺寸小于20 微米的微孔。对于特征尺寸为50微米的小孔，其深宽比达到17：1；采用该工艺的加工速度可达每秒钟2 微米；采用该工艺可以大大减小激光热作用对材...
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