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SiC非球面反射镜的超精密加工技术研究

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　一种非球面光学零件复合加工、检测机床，其特点是机床床身采用对称式龙门框架结构，其上设有X、Y、Z、C四个坐标轴，各轴采用模块化设计，通过在Z轴工作台上分别按装铣磨头或研抛机构进行铣磨和研抛工序的切换；在机床床身上，还设有与Y轴平行的气浮平台，该平台上装有可进行面型在位测量和补偿之面型误差测量装置。本发明可满足成型铣磨加工和定量研抛加工要求，通过在机床本体上更换铣磨头和研抛装置，可分别实现非球面...
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