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科研内容向教学转化——金属薄膜的制备及薄膜电阻的动态监测

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　本项目为北京科技大学国家工科物理基础课程教学基地立项项目，利用科研中所用的小型离子溅射镀膜机，自行开发研制出“薄膜的制备及薄膜生长过程原位动态监测实验装置”，该实验装置能在较低的背景真空度下实现金属薄膜的制备，同时若使用在衬底基片上预先镀膜制作出的低电阻测量四接头电极并接通恒流源，便可利用数字电表在镀膜过程中，瞬态、原位测量薄膜的导通电压、电阻阻值随沉积时间的变化规律，或通过计算机实现检测信号...
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