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LAD300-I激光真空弧薄膜沉积系统

2007年

应用技术

成果简介

　　由清华大学摩擦学国家重点实验室完成的自选项目“LAD300-I激光真空弧薄膜沉积系统”于2001年12月6日通过了以徐滨士院士为鉴定委员会主任的教育部部级科学技术成果鉴定，鉴定证书编号：鉴字[教SW2001]第057号。
　　该系统的基本原理是将高能量激光和真空电弧相结合，通过真空放电弧和激光束的协同作用，在靶材表面激发出具有较高能量的粒子沉积在基体上形成薄膜。系统充分利用激光沉积...

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