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三维集成的空间光调制研究

2007年

应用技术

成果简介

为了提高集成光学器件的集成度，二维集成光波导器件向三维方向发展是今后的必然趋势。本项研究是将常规的二维先兆多模干涉（MMI）中的“自映像”原理推广到三维空间。首先采用适宜深刻蚀光波导理论分析的离散谱折射率数值分析方法进行模拟计算，利用SOI材料、ICP深刻蚀技术研制成功3*3、5*5集成光波导器件，为从二维集成到三维集成迈出了可喜的一步。...

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