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一种电容式微波功率传感器

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　本发明是利用共面波导上传输的微波功率对MEMS悬臂梁的吸引导致梁的位移，通过测量悬臂梁与传感电极之间电容变化的方式测得共面波导上传输的微波功率的结构，属于微电子器件技术领域。
　　本发明中的电容式微波功率传感器也是基于MEMS技术，但不同于上述的在线式微波功率传感器，该结构利用悬臂梁感应共面波导上传输的微波信号产生位移，并将之转化为电容变化。相比而言，电容式微波功率传感器具有以下主...
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