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扫描电声显微技术

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　扫描电声显微技术是一种多功能、高分辨率显微成像仪器。在金属材料、半导体材料、无机材料、复合材料以及功能器件等科研和生产领域获得了实际应用，广泛应用于大学、研究所和工业部门。
扫描电声显微技术具有信息产生、信息检测和信息显示独特优点。获得了四项国家发明专利和一项国外发明专利，是国内外至今唯一实现商品化的电声显微镜，总体技术指标和功能处于国际先进水平。2005年获国家技术发明奖...
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