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清洁、快速磁控溅射、离子镀膜机

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　1、产品简介
清洁、快速磁控、离子镀膜机是深圳大学与深圳市摩尔真空技术有限公司最近开发成功的新一代镀膜机。它采用分子/增压泵取代镀膜机中的油扩散泵，或涡轮分子泵，并对真空室多次周期性充入、抽除Ar，N2等非活性气体，快速降低镀膜室中活性气体的分压强。本项发明可能获得清洁真空，缩短抽气时间50%，降低抽气能耗70%，真空泵的抽速可降至现有设备的1/3以下，经济效益十分显著。 ...
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