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基于MEMS的微型六维力/力矩传感器

2007年

应用技术

成果简介

这是我国第一台基于MEMS的智能微型六维力/力矩传感器，它可以检测作用于传感器上的三维力和三维力矩信息。该传感器基于应变测量原理，利用功能强大的PROMECHANICS优化设计传感器的微型弹性体结构，使弹性体上的应变片位于同一平面上，从而可以基于MEMS进行应变片的全自动粘贴和激光阻值校正。基于表面贴装元件设计高性能的微型信号处理电路，基于微型DSP实现信号的采集、处理和标准数字化输出。该...

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