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形状记忆合金薄膜驱动的微泵

2007年 应用技术
  • 成果简介
形状记忆合金薄膜驱动的微泵采用NiTi/Si复合膜驱动结构，由微驱动器、泵腔体、进水阀和出水阀等组成。由于采用形状记忆合金薄膜驱动，具有大的输出流量，对NiTi驱动膜进行图形化处理和结构的优化设计，提高了驱动效率和驱动频率，整个微泵采用微机械技术制备，体积小，有利于批量生产和集成化，降低生产成本。
应用领域：微泵是微流量控制系统的最关键流量控制部件，采用微机械技术制备的...
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