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微波等离子体化学设备及纳米粉体制备技术

2007年 应用技术
  • 成果简介
功能与技术指标：微波等离子体化学气相合成纳米粒子的技术，具有制备的产物粒子粒度细、纯度高、形态可控、表面不含氢氧基团等特点，适合于制备多种金属，氮化物、氧化物、碳氮化物和复合金属－氮化物等纳米粒子。该项目在俄罗斯引进的微波等离子体化学气相合成纳米粒子的装置上，开发了快速冷凝控制粒子生长和凝并技术，制取了包括Mo、TiN，TiO_2和ZrO_2在内的多种粒径小于100nm的金属、氮化物和氧化...
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