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一种基于红外傅里叶光谱仪的反射各向异性光谱装置

2000年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
本实用新型涉及红外傅里叶光谱仪的反射各向异性光谱装置。随着外延薄膜生长技术的发展，薄膜的表面与界面特性日益受到重视，人们不但希望能表征静态表面与界面结构，而且希望能监测各种材料处理环境中动态表面、界面过程。现有的表面诊断技术，只能探测到几个纳米厚覆盖层的界面。然而随着外延厚度的增加，由于应力释放等原因，界面特性会发生变化。
现有的表面诊断技术对掩埋在表面以下几百纳米的界...
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